本文討論超純水和CO2起泡器對硬刀的影響。我們生產過程中為了防止硅IC加工時產生靜電,通常使用CO2起泡器去除靜電。 根據CO2起泡器的電阻率,切割水有時會對刀刃(接合部)產生腐蝕,導致無法進行穩定的加工。
下面我們通過三組實驗來對比看看超純水和CO2起泡器對刀片的影響。
* 超純水電阻率:18MΩ·CM
2. 第一組實驗,72小時 空轉 超純水
實驗結果:
鋁(輪轂)被腐蝕,溶出的鋁粘附在刀刃上。刀刃的機器側被輕微腐蝕,刀片的操作側沒有被腐蝕,因為它被氧化鋁覆蓋。
PS:超純水(16MΩ.cm 或更高,雜質為 1ppb 級)被稱為饑餓水,接觸材料會發生 ppb 級的洗脫
3. 第二組實驗, 72小時 空轉 超純水+CO2起泡器
實驗結果:
鋁(輪轂)被腐蝕,刀刃(機器側+操作側)都被腐蝕。
PS: PH值4-8之間鋁(輪轂)不會被腐蝕,但是鎳基體在PH值低于6(含)就會被腐蝕。
4. 第三組實驗 72小時 持續切割 03 超純水+CO2起泡器
實驗結果:
鋁(輪轂)和刀刃(機器側+操作側)都沒有被腐蝕。
原因:加工硅時產生的污染物(切削粉塵)粘附在刀片上,從而使刀片被 SiO2薄膜覆蓋。
建議:如果長時間不進行加工,請停止切割水。 尤其是當使用輔助起泡器時,即使pH值在6左右,刀片在空轉過程中也可能被腐蝕。因此,長時間等待過程中,應關閉切割水。
空轉狀態指的是在實際開始加工之前,同時開啟主軸和切割水大約 30 分鐘的待機狀態。 這樣做是為了能夠以穩定的精度操作機器(暖機)。
更換刀片后,請務必在安裝前將主軸空轉 10 分鐘。 如果空轉(暖機時間)不足,安裝位置可能會有偏差。