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藍(lán)膜在半導(dǎo)體切割過程中的應(yīng)用
發(fā)布時間:2021-12-09 點擊數(shù):5675

半導(dǎo)體封裝

  半導(dǎo)體封裝是指通過多道工序,使芯片產(chǎn)生能滿足設(shè)計要求具有獨立電氣性能的過程。封裝過程為:來自晶圓前道工藝的晶圓通過劃片工藝后,被切割為小的晶粒,然后將切割好的晶粒用固晶機(jī)按照要求固定在相應(yīng)的引線框架上,在帶有氮氣烤箱固化后,再用焊線機(jī)將超細(xì)的金屬導(dǎo)線接合焊盤連接到基板引腳上,并構(gòu)成所需要的電路;然后使用塑封機(jī)將獨立的晶片用環(huán)氧樹脂封裝加以封裝保護(hù),這就是半導(dǎo)體封裝過程。在封裝之后還要進(jìn)行一系列操作,進(jìn)行成品測試,最后入庫出貨。

 

膠膜在封裝過程中的應(yīng)用

  半導(dǎo)體封裝過程中,封裝前的晶圓切割和封裝后的基板切割,是整個封裝過程中不可缺少的重要工序,切割品質(zhì)好壞直接影響到客戶滿意度和公司效益,切割制程中影響品質(zhì)的因素有很多:切割機(jī),切割參數(shù),切割刀片,表面活性劑,冷卻液,膠膜等,前面已經(jīng)分析刀片、工藝、冷卻水在切割過程中應(yīng)用,本文將重點分享膠膜中的一種——藍(lán)膜的應(yīng)用。


切割膠帶分類

 

 

 

切割過程中主要膜材的應(yīng)用分類

藍(lán)膜分類


藍(lán)膜又名電子級膠帶,主要用于玻璃,鋁板,鋼板的保護(hù),因其性價比高同時適用于芯片切割,后面被引進(jìn)為芯片切割, 現(xiàn)在已經(jīng)是國內(nèi)晶圓切割主流的晶圓切割膠帶之一。

目前,國內(nèi)出貨量最大藍(lán)膜供應(yīng)商是日東,日東藍(lán)膜產(chǎn)品成熟穩(wěn)定,性價比高,出貨量大;


SPV 224&214

SPV 680

V8-A


藍(lán)膜的分類及應(yīng)用

不同粘性和要求的藍(lán)膜,適用于不同的客戶,目前市場常見的藍(lán)膜以224和225為主。以日東藍(lán)膜為例,下表簡單介紹不同系列的藍(lán)膜及其應(yīng)用。

 

 

     

常見異常及處理方法

在封裝切割過程中,經(jīng)常會遇到一些切割相關(guān)的品質(zhì)問題,引起的原因很多,膜的選型不當(dāng)也會造成品質(zhì)問題,常見異常有:背崩,飛料,拉絲,殘膠,氣泡,沾污。這里主要從膜的角度去分析常見的異常和對應(yīng)的處理方法。

下表中羅列了與藍(lán)膜直接關(guān)聯(lián)的切割異常和對應(yīng)的處理方法。



為達(dá)到良好的切割效果,就必須要對切割工藝過程中使用的輔材性能及應(yīng)用有非常清晰的認(rèn)知,當(dāng)對藍(lán)膜性能有更多了解,才能根據(jù)切割工藝需求選擇更為適合的藍(lán)膜,能有效提高生產(chǎn)品質(zhì)、效率以及生產(chǎn)成本,為客戶提供更加優(yōu)質(zhì)的切割方案。